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램리서치, '센스아이 플랫폼' 개발…"최고의 반도체 제조툴 생산"

  • 송고 2020.03.04 14:44 | 수정 2020.03.04 14:45
  • 박상효 기자 (s0565@ebn.co.kr)

팹 신축하거나 노드 간 기술 전환 시 큰 효과

식각 산출 밀도 50% 넘게 개선, 웨이퍼 산출량 극대화

램리서치의 식각 공정 반도체 장비인 센스아이 플랫폼.

램리서치의 식각 공정 반도체 장비인 센스아이 플랫폼.

세계적 반도체 장비업체인 램리서치(Lam Research)가 전 세계 반도체 장비 중 식각 공정 분야를 주도하고 있는 키요와 플렉스에이어 새로운 차원의 혁신적인 식각 기술 제품을 공개했다.

램리서치는 새로운 플라즈마 식각 기술을 제공하는 식각 공정 반도체 장비인 센스아이 플랫폼을 4일 발표했다.

이번 램리서치의 획기적인 센스아이 플랫폼은 반도체 제조사들이 향후 혁신에 필요한 확장성과 고급 기능을 갖출 수 있도록 하기 위해서 개발됐다.

또한, 기존 식각 장비가 차지하는 반도체 팹 공간을 절반으로 줄이면서 종횡비를 크게 높인 컴팩트한 고밀도 구조와 함께 독보적인 시스템 인텔리전스 기능을 갖추고 있다. 최고의 생산성을 구현하는 공정 성능으로 향후 10년간 로직 및 메모리 소자의 성장 로드맵을 지원할 수 있을 것이란 기대다.

램리서치의 센스아이 플랫폼은 전 세계 반도체 장비 시장의 대표적인 식각 공정 제품으로 인정받는 키요(Kiyo)와 플렉스(Flex) 프로세스 모듈에서 발전된 핵심 기술이 구현됐다.

균일도와 식각 프로파일 제어를 지속적으로 향상시키는데 필요한 핵심 식각 성능을 제공해, 반도체 제조의 수율은 최대화하고 웨이퍼 비용도 크게 낮출 수 있게 하는 핵심 기술이다. 무엇보다, 반도체 장비의 크기는 줄어들고 종횡비는 높아지고 있기 때문에 향후 기술변화에 대비할 수 있도록 설계됐다.

센스아이에는 램리서치의 장비 인텔리전스(Equipment Intelligence) 기술도 탑재됐다. 식각 장비 스스로가 자가 인식이 가능해 반도체 제조사들이 데이터를 모으고 분석해 패턴과 경향을 확인할 수 있을 뿐 아니라, 개선 조치를 특정할 수 있다.

또한, 센스아이는 자율 캘리브레이션 및 유지보수 기능을 갖추고 있어 비가동 시간과 인건비를 동시에 줄일 수 있다. 머신 러닝 알고리즘을 통해서는 툴을 자가 조정해 공정 변화를 최소화하고, 웨이퍼 산출량을 극대화할 수 있는 효과도 거둘 수 있다.

센스아이 플랫폼은 획기적인 공간 절약형 구조를 갖췄다. 식각 장비가 차지하는 반도체 팹의 면적인 식각 산출 밀도를 50% 넘게 개선해 향후 웨이퍼 산출 목표를 달성하는 데 크게 기여할 수 있다.

반도체 제조사들이 더 스마트하고, 더 빠른 초고밀도의 칩을 개발하면서 공정이 복잡해지고 단계가 급속히 늘면서 팹 내 프로세스 챔버를 늘리는 만큼 정해진 공간 대비 전체 산출량은 줄어드는 상황에 직면하고 있기 때문이다.

램리서치의 센스아이 플랫폼은 점유 공간이 작아 팹을 신축하거나 노드 간 기술을 전환할 때 큰 효과를 발휘한다.

램리서치에서 식각 장비 부문을 총괄하는 바히드 바헤디 수석 부사장은 “램리서치는 지난 20년에 걸쳐 개발된 가장 혁신적인 식각 제품을 도입할 예정”이라며 “센스아이는 램리서치 기술 로드맵을 확장해 고객의 차세대 요건을 충족할 뿐 아니라 고객의 비용 조정 문제를 해결할 수 있다"고 말했다.

또한, “매월 식각 시스템에서 4백만 개가 넘는 웨이퍼를 가공하는 램리서치는 설치 기반에서 얻은 특별 노하우를 바탕으로 혁신과 설계를 통해 최고의 반도체 제조툴을 생산할 것”이라고 밝혔다.

한편 램리서치는 미국 어플라이드머티리얼스, 네덜란드 ASML과 함께 세계 톱3 반도체 장비 업체로 꼽힌다. 연매출 10조원, 연구개발비가 1조원이 넘는 글로벌 회사로 특히 반도체 웨이퍼에 불필요한 부분을 선택적으로 제거해 회로 패턴을 만드는 식각장비 분야 세계 1위다.


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